發(fā)布時(shí)間:2023-06-09 瀏覽次數:786
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設備簡(jiǎn)介: 化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面 反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業(yè)中應 用非常廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍 的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料。 為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統,適用于各大高校 材料實(shí)驗室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域。
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高溫旋轉擺振cvd系統由以下幾部分組成。
▲燒結系統;▲電控系統;▲真空系統;▲旋轉系統;▲擺振系統
配置詳情
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設備特點(diǎn): 1、低真空、高真空、氣氛燒結均可。 2、控制穩定可靠,操作方便,安全防護措施完善。 3、采用先進(jìn)的PID自學(xué)習模糊控制,控溫精度高,保持在±1℃。 4、高低溫區采用物理隔離,可分別設置工藝曲線(xiàn)。 5、兼具旋轉擺振功能,可更好滿(mǎn)足客戶(hù)需求。 6、爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果更好,節能降耗。 7、具有物聯(lián)網(wǎng)功能(WIFI),可通過(guò)手機、電腦遠程對設備進(jìn)行監控,操作。 8、數據存儲功能,可保存燒結的重要參數,時(shí)長(cháng)達30天之久(每天開(kāi)機8小時(shí))。 9、配方功能,可預存配方100條以上。 10、多重防呆功能,讓客戶(hù)使用起來(lái)更加安全。 11、聯(lián)網(wǎng)功能,通過(guò)RJ45接口,采用TCP/IP協(xié)議,可以讓系統與上位機相連(上位機需安裝相應軟件)。
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產(chǎn)品型號 |
NBD-RT1700-120T2DY |
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供電電源 |
三相380V 50HZ |
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額定功率 |
15KW |
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測溫元件類(lèi)型 |
B型熱電偶 150mm |
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低溫區最高溫度 |
1400℃ |
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高溫區最高溫度 |
1600℃ |
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加熱溫區尺寸 |
長(cháng)660×深220×高160mm |
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爐體尺寸 |
長(cháng)1200mm×高1260mm(不含點(diǎn)火器)×深760mm |
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最高真空度 |
1*10-1Pa |
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最大擺動(dòng)角度 |
-18° |
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最小擺動(dòng)角度 |
4° | ||||||
爐管最大轉速 |
14r/min |
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爐體尺寸 |
長(cháng)2650×深1050×高1450mm |
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推薦升溫速率 |
5℃/min(剛玉管不宜急冷急熱) |
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設備細節 |
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控制系統 |
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1. NBD-101PE嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話(huà)模式; 2. 帶壓力保護控制, 3. 燒結工藝曲線(xiàn)設置:動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn),設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn),每條工藝曲線(xiàn)可自由設置; 4. 可預約燒結,實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結; 5. 實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據,并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄; 6. 具有實(shí)現遠程操控,實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài); 7. 溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正; 預留留485接口支持MODBUS協(xié)議,客戶(hù)可遠程實(shí)現電腦采集燒成溫度; |
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溫度精度 |
±1℃ |
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流程控制畫(huà)面 |
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重量 |
約600KG |
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服務(wù)支持 |
1年質(zhì)保,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如爐管和O形圈等) |
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