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高溫TMDs 沉積一體機

發(fā)布時(shí)間：2023-06-13  瀏覽次數：706

設備簡(jiǎn)介：

該設備主要應用于過(guò)渡金屬二硫化物材料制備。設備分兩個(gè)溫區，高溫區用于硫粉的蒸發(fā)，低溫區用于MoO3的蒸發(fā)及硫化物的沉積。適當調整襯底和蒸發(fā)源的距離、蒸發(fā)溫區的溫度及進(jìn)氣流量，可得到大面積的單層二硫化物材料。

本設備仍可作為滿(mǎn)足實(shí)驗參數的常規CVD設備使用。

  


 

 

 

 


   

    技術(shù)參數： 

1.爐體與控制系統集成一體化，使試驗方便快捷直觀(guān)。
2.配置兩路質(zhì)量流量計混氣氣路，可以單獨設置氣體流量。
3.精確PID程序多段控制，實(shí)現不同工藝多段溫度時(shí)間監控。
4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料，保溫效果極佳。
5.配備機械泵或分子真空泵，可以實(shí)現不同的真空條件。

爐體尺寸

1100mm×1250mm×750mm(寬×高×深）

剛玉管尺寸

Φ80*1000mm

主控升溫速率

建議≤10℃/min

使用溫度

1200℃以下可長(cháng)期使用

控溫精度

±1℃

最高溫度

1100℃

加熱元件

高溫合金絲

加熱功率

5KW

主控爐膛材料

高純多晶纖維復合耐火保溫層

主控爐膛模式

開(kāi)啟式

密封方式

不銹鋼密封法蘭

測溫元件

K型熱電偶

加熱溫區長(cháng)度

雙溫 210mm*2    

操控模式

NBD-101E嵌入式操作系統中英文互換圖形界面，7英寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話(huà)模式；

溫度曲線(xiàn)設置

主加熱可預存15條溫度曲線(xiàn)，每條曲線(xiàn)可設置30段"時(shí)間—溫度曲線(xiàn)"，實(shí)時(shí)監控，動(dòng)態(tài)真實(shí)顯示“時(shí)間-溫度曲線(xiàn)”

溫度校正

主控控溫溫度和試樣溫度的差值，系統全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正（詢(xún)問(wèn)客戶(hù)常用溫度點(diǎn)，做特別效驗）

真空泵類(lèi)型

直聯(lián)旋片式真空泵（雙級旋片）

抽氣速率

4(L/s)

進(jìn)排氣連接口

KF16/25（mm）

用油量

0.6～1L

電機轉速

1440（rpm）

工作環(huán)境溫度

5～40℃

噪音（dB）

≤56

真空計類(lèi)型

數顯真空計

系統真空

3~5pa （另選配分子泵可達6.3*10-3pa）

流量計類(lèi)型

2路質(zhì)量流量控制器 300SCCM,500SCCM, 可根據客戶(hù)需求選擇流量范圍

氣路管芯

專(zhuān)用不銹鋼氣體管道（1/4"）

調節閥類(lèi)型

手動(dòng)調節閥

管道常態(tài)

常閉

測量精度

±1.0%F.S

精度保證溫度

15～35℃

系統保護

超溫報警，過(guò)流保護，斷偶提示

電氣規格

220V 50Hz 5KW

隨機產(chǎn)品配置

石英爐管1根 ，爐塞1套 ，爐鉤一只，說(shuō)明書(shū)1份;隨機工具等。

服務(wù)項目

運輸及保險費，包裝費,安裝及技術(shù)服務(wù)費； 提供12個(gè)月質(zhì)保，觸控系統24個(gè)月，終身保修。

控制系統

1、燒結工藝曲線(xiàn)設置：動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn)，設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn)，每條工藝曲線(xiàn)可自由設置；
2、可預約燒結，實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結；
3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄；
4、具有實(shí)現遠程操控，實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài)；
5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正。

* 支持非標定做，更多型號，歡迎來(lái)電垂詢(xún)400-000-3746

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