設備特點(diǎn)

1、六溫三控加熱系統，溫場(chǎng)分布更均勻；
2、高純硅碳棒加熱，最高工作溫度1380℃，可滿(mǎn)足更多CVD領(lǐng)域需求；
3、六路質(zhì)量流量計(MFC)氣體控制，同時(shí)設置有真空系統配合進(jìn)出氣系統使用，可以實(shí)現自動(dòng)抽真空-補氣循環(huán)流程，以最快的速度排空腔體內部的氧氣；
4、電動(dòng)開(kāi)蓋系統，方便爐管的維護及更換；
5、4.3英寸彩色觸摸液晶屏，并支持多種工作模式的高精密注射泵，可以根據客戶(hù)需要選擇不同容積的針管進(jìn)行試樣的注射；同時(shí)可以跟隨工藝曲線(xiàn)設置注射泵的開(kāi)關(guān)，無(wú)需后期的人為操作，操作方便性大大提升；
6、PLC自動(dòng)化控制系統集成了設備上所有的控制，包含加熱和各種動(dòng)作都能夠在屏幕上進(jìn)行操作，并且能夠跟隨工藝曲線(xiàn)設置不同的進(jìn)氣和流量的設置，可以實(shí)現不同工藝下的快速組合，并且支持數據導出及預存和調用配方功能。

產(chǎn)品型號

NBD-T1500-200T66D6Z

供電電源

三相380V 50HZ

控溫精度

±1℃

額定功率

36KW

傳感器類(lèi)型

S型熱電偶

極限溫度

1500℃

1380℃

高純硅碳棒

260*240*1430mm

反應燒結碳化硅

5-10ml/小時(shí)

推薦升溫速率

內徑φ180mm，壁厚10mm，長(cháng)2150mm

長(cháng)3700×深1000×高1420mm

電動(dòng)開(kāi)合 最大角度45度

物料收集系統：

1、通過(guò)不銹鋼波紋管與碳化硅爐管相連，有效保護高溫工作中的碳化硅爐管；
2、高純石英觀(guān)察窗，可隨時(shí)觀(guān)察物料收集狀態(tài)；
3、手動(dòng)閥和電磁閥雙重保障，確保出氣控制穩定運行；
4、收集腔室內部配置多孔收集板，可提高物料收集效率；
5、收集系統通過(guò)手輪調節與爐管的距離，并可通過(guò)旋轉與爐體保持一定角度，方便物料的取出。

高精密注射泵：

  采用4.3英寸彩色觸摸液晶屏，方便快速設置參數，多個(gè)指示燈清晰確認其工作狀態(tài)，支持多種注射器型號選擇，可適應不同實(shí)驗流量需求，高精度控制，并設有軟硬保護機制，支持注射、抽取等四種工作模式。
  內置RS485通訊，支持Modbus協(xié)議，寬范圍電源輸入，適應各種場(chǎng)合。單通道、雙通道、多通道可供選擇。

六路質(zhì)量流量控制器（6MFC）混氣系統

約660KG

服務(wù)支持

1年質(zhì)保，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如石英制品和密封圈等）