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三路質(zhì)量氣體配比器

發(fā)布時(shí)間:2017-11-16  瀏覽次數:5143

設備簡(jiǎn)介:

NBD系列氣體混合配比器適用于低壓小流量、多種氣體的混合及連續供氣。氣體壓力和流量數據在控制面板上直觀(guān)可讀,操作簡(jiǎn)便,流量控制精確,可有效地控制氣體消耗??梢愿苁綘t等設備配合使用,做CVD、氣氛燒結等研究實(shí)驗。






 

 

 

 

 

 


    配置詳情

 

1. 外形美觀(guān),實(shí)用性強,操作簡(jiǎn)便;

2. 采用耐腐拋光不銹鋼管,或耐腐聚四氟乙烯管;

3. 可靠的混氣裝置,可保證氣體混合的均勻性;

4. 均采用標準尺寸接頭,確保其通用性;

5. 多路氣體混合可咨詢(xún)溝通定制;

產(chǎn)品型號

NBD-2Z

NBD-3Z

NBD-4Z

流量計類(lèi)型

質(zhì)子流量控制器

管道示意圖

 

采用潔凈拋光的氣路專(zhuān)用耐腐不銹鋼管或耐腐蝕抗老化的聚四氟乙烯氣管(可選)

進(jìn)氣接口數量

(多路可定制)

2

3

4

接口尺寸

1/4”雙卡套接頭

測量精度

±1.0%F.S

流量計測量范圍

50、100、200、500Sccm可選

范圍

0.05-0.4MPa

凈重

35KG

設備使用注意事項

1.確保管道內壓力<0.15MPa;

2.氣柜連接好氣瓶后要用肥皂水進(jìn)行檢漏測試;

服務(wù)支持

1年質(zhì)保,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件)。 


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