主要特點(diǎn)：

1、射頻電源最大輸出功率：500W（連續可調），最大反射功率 70W；

2、出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！

3、異形高純石英爐管，大容量反應空間；

4、獨有的旋轉（60檔精調設計）擺振結構，保證物料與等離子體的充分接觸；

5、三路高精度質(zhì)量流量計（可依要求定制 ），集成混氣系統；

6、獨有進(jìn)出料設計，保證設備在結構復雜狀態(tài)下的便捷進(jìn)出料；

7、射頻系統、真空系統、旋轉擺振系統全面集成于一體，7英寸全觸屏操作，操作便捷、直觀(guān)；

8、可保存六組工藝參數，隨時(shí)調??；

9、實(shí)驗數據可自動(dòng)截圖，并支持USB接口導出。

電氣規格

AC220V    1.5千瓦

設備尺寸

W1300mm×H1250mm×D760mm；

Φ120*L300mm（可定制，管內焊接三組攪拌擋板），非射頻區管徑：φ60mm；

翻轉速度

0.1～6轉/min（無(wú)極調速）；

翻轉傾角

-3°～+3°  最大傾倒角度30°

反應腔壓力

5~80pa

法蘭結構

航空鋁快開(kāi)模式；

操作系統

NBD-101EP集中總線(xiàn)控制集成系統，7"真彩觸摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人機對話(huà)模式；

電動(dòng)推桿功率

50W 

RF 電源

輸出功率10～500W 任意連續可調，射頻頻率: 13.56MHz ±0.005% ，全自動(dòng)匹配；

真空測試

數字真空計獲取裝置；

真空獲取

NBD-4C機械真空泵(220V/50Hz)，功率：0.4KW，抽速：4m3/h；

供氣系統

質(zhì)量流量控制器（量程及標定可定制）精度：±1%F.S；響應時(shí)間：1-4秒；

設備細節

部分界面

凈重

約320KG

設備使用注意事項

1.射頻匹配器一般處于自動(dòng)匹配狀態(tài)，一般功率需達到50W以上才能匹配；

2.若采用手動(dòng)匹配，將功率設到60W左右，手動(dòng)調諧匹配合適時(shí)，再增加功率

3.工作時(shí)，需改變腔體的氣流量，先要要把功率設置為零，不能直接按“OFF”按鍵關(guān)閉射頻輸出。

服務(wù)支持

一年有限保修，提供終身支持；