發(fā)布時(shí)間：2020-09-03 瀏覽次數：3565
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設備簡(jiǎn)介：
旋轉擺振PECVD系統適用于粉體材料的表面薄膜沉積。系統由高功率射頻電源（500W，13.56MHz）、氣體質(zhì)量流量控制系統、真空系統、旋轉擺振系統組成，利用等離子體特性來(lái)控制或影響氣相反應和材料表面的化學(xué)反應過(guò)程，并在適當的溫度下沉積薄膜。PECVD淀積的薄膜具有優(yōu)良的電學(xué)性能、良好的襯底附著(zhù)性以及極佳的臺階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點(diǎn)使其在超大規模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應用。
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配置詳情
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主要特點(diǎn)： 1、射頻電源最大輸出功率：500W（連續可調），最大反射功率 70W； 2、出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！ 3、異形高純石英爐管，大容量反應空間； 4、獨有的旋轉（60檔精調設計）擺振結構，保證物料與等離子體的充分接觸； 5、三路高精度質(zhì)量流量計（可依要求定制 ），集成混氣系統； 6、獨有進(jìn)出料設計，保證設備在結構復雜狀態(tài)下的便捷進(jìn)出料； 7、射頻系統、真空系統、旋轉擺振系統全面集成于一體，7英寸全觸屏操作，操作便捷、直觀(guān)； 8、可保存六組工藝參數，隨時(shí)調??； 9、實(shí)驗數據可自動(dòng)截圖，并支持USB接口導出。 |
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型號 |
NBD-PECVD-120ITD3Z |
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電氣規格 |
AC220V/1.5KW |
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設備尺寸 |
W1300mm×H1250mm×D760mm； |
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Φ120*L300mm（可定制，管內焊接三組攪拌擋板），非射頻區管徑：φ60mm； |
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翻轉速度 |
0.1～6轉/min（無(wú)極調速）； |
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翻轉傾角 |
-3°～+3° 最大傾倒角度30° |
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反應腔壓力 |
5~80pa |
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法蘭結構 |
航空鋁快開(kāi)模式； |
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電動(dòng)推桿功率 |
50W |
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RF 電源 |
輸出功率10～500W 任意連續可調，射頻頻率: 13.56MHz ±0.005% ，全自動(dòng)匹配； |
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真空測試 |
數字真空計獲取裝置； |
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真空獲取 |
NBD-4C機械真空泵(220V/50Hz)，功率：0.4KW，抽速：4m3/h； |
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供氣系統 |
質(zhì)量流量控制器（量程及標定可定制）精度：±1%F.S；響應時(shí)間：1-4秒； |
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設備細節 |
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部分界面 |
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控制系統 |
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1、燒結工藝曲線(xiàn)設置：動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn)，設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn)，每條工藝曲線(xiàn)可自由設置； 2、可預約燒結，實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結； 3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄； 4、具有實(shí)現遠程操控，實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正。 |
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凈重 |
約320KG |
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設備使用注意事項 |
1. 射頻匹配器一般處于自動(dòng)匹配狀態(tài)，一般功率需達到50W以上才能匹配； |
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服務(wù)支持 |
一年有限保修，提供終身支持； |
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