主要特點(diǎn)：

1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；
2. 上開(kāi)啟式結構，方便觀(guān)察試樣；
3. 產(chǎn)品采用全自動(dòng)控制方式，觸摸屏，數字化顯示；
4. 可通過(guò)爐體滑動(dòng)來(lái)達到快速升溫和快速降溫的效果；
5. 穩定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量；

產(chǎn)品型號

NBD-PECVD1200-50T2-N

電氣規格

AC220V 3KW   射頻功率：300或500瓦 13.56Mhz

1200 ℃ （<1小時(shí)）

連續溫度

1100 ℃ （連續）

可達加熱速率

≤20 ℃/分鐘

加熱區長(cháng)度

200mm+200mm（兩個(gè)加熱溫區分別加熱，分體式設計使溫度梯度可以達到極限）

爐管尺寸

Φ50*1800mm

射頻線(xiàn)圈

采用多節點(diǎn)鍍銀的水冷銅線(xiàn)圈，可匹配不同頻率的射頻電源 

1、燒結工藝曲線(xiàn)設置：動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn)，設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn)，每條工藝曲線(xiàn)可自由設置；
2、可預約燒結，實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結；
3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄；
4、具有實(shí)現遠程操控，實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài)；
5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正

+/- 1 ℃

加熱元件

Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

真空度：≤10Pa（機械泵），達到啟輝條件。

壓力測量與監控

100KG

設備使用注意事項

1.設備爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開(kāi)爐膛，避免受到傷害；

2.設備使用時(shí)，爐管內壓力不得超過(guò)0.125MPa（絕對壓力），以防止壓力過(guò)大沖開(kāi)密封法蘭；

服務(wù)支持

一年有限保修，提供終身支持；