設備簡(jiǎn)介：

 三溫區PECVD系統，即等離子體增強化學(xué)氣相沉積（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD）系統，是一種先進(jìn)的薄膜沉積技術(shù)，廣泛應用于半導體工業(yè)、微電子、光電子、太陽(yáng)能等領(lǐng)域。該系統通過(guò)射頻電源將石英真空室內的氣體轉變?yōu)殡x子態(tài)，利用等離子體中的高能電子激活反應氣體，使其在較低的溫度下發(fā)生化學(xué)反應，從而在基材上沉積出所需的薄膜。

設備特點(diǎn)：

      1、溫度控制精準：三溫區設計使得系統能夠實(shí)現更精準的溫度控制，滿(mǎn)足不同材料和工藝對溫度的需求。通過(guò)三個(gè)PID溫度控制器，可以分別控制不同區域的溫度，確保整個(gè)沉積過(guò)程在理想的溫度范圍內進(jìn)行。

  2、沉積速度快：相比傳統的化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)，PECVD系統具有更高的沉積速率。這主要得益于等離子體的作用，使得反應氣體在較低的溫度下就能發(fā)生化學(xué)反應，從而加快了沉積速度。

膜層均勻性好：通過(guò)射頻電源的頻率控制，可以精確調節所沉積薄膜的應力大小，從而保證膜層的均勻性和一致性。這種精確控制對于制備高質(zhì)量、高性能的薄膜材料至關(guān)重要。

  3、操作穩定性高：三溫區PECVD系統采用先進(jìn)的真空系統和多通道質(zhì)子混氣系統，確保了系統的穩定性和可靠性。在長(cháng)時(shí)間運行過(guò)程中，系統能夠保持穩定的沉積速率和膜層質(zhì)量，滿(mǎn)足大規模生產(chǎn)的需求。

  4、應用廣泛：該系統可廣泛應用于生長(cháng)納米線(xiàn)、石墨烯及薄膜材料等領(lǐng)域。例如，在太陽(yáng)能電池領(lǐng)域，PECVD技術(shù)被用于制備高質(zhì)量的硅基薄膜太陽(yáng)能電池；在微電子領(lǐng)域，PECVD技術(shù)被用于制備各種薄膜材料，如SiO2、SiNx等。

NBD-O1200-TS3-4ZD-PE

CVD系統

380V 50HZ

1200℃

1150℃

7"

200+200+200mm（三溫三控）

9KW

傳感器類(lèi)型

石英管Φ80*1400mm

推薦升溫速率

 機械泵抽氣速率

3~5Pa 配數顯真空計

進(jìn)氣系統

爐體外形尺寸

規格型號②

名稱(chēng)②

 射頻頻率

射頻功率輸出范圍

外形尺寸

500W

控制系統

 1、燒結工藝曲線(xiàn)設置：動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn)，設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn)，每條工藝曲線(xiàn)可自由設置；

 2、可預約燒結，實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結；

 3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄；

 4、具有實(shí)現遠程操控，實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài)；

 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正

溫度精度

±1℃

壓力測量與監控

采用機械壓力表，表外殼為氣密型結構，能有效保護內部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入，同時(shí)具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。

供氣系統

采用浮子流量計控制氣體流速，與設備一體化，且出廠(chǎng)前已進(jìn)行漏氣測試工作。

凈重

280kg

設備使用注意事項

   1、設備爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開(kāi)爐膛，避免受到傷害；

   2、設備使用時(shí)，爐管內壓力不得超過(guò)0.125MPa（絕對壓力），以防止壓力過(guò)大造成設備損壞；

   3、真空下使用時(shí)，設備使用溫度不得超過(guò)800℃。

   4、供氣鋼瓶?jì)炔繗鈮狠^高，向爐管內通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在選購試驗用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時(shí)會(huì )更加精確安全。

   5、當爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態(tài)；

   6、高純石英管的長(cháng)時(shí)間使用溫度≦1100℃

   7、加熱的實(shí)驗時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.15MPa，必須立刻打開(kāi)排氣端閥門(mén)，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。

服務(wù)支持

一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件。）