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立式HVPE單晶生長(cháng)系統

發(fā)布時(shí)間:2024-06-13  瀏覽次數:150

設備簡(jiǎn)介:

 立式淬火管式爐:優(yōu)質(zhì)保溫材料由真空成形纖維板構成,具有低儲熱和低導熱性能,從而能降低設備的能耗和縮短加熱時(shí)間。通過(guò)配置不同的充氣套件可在不易燃或易燃保護或反應氣體條件下或在真空中運行。電動(dòng)旋轉脫扣結構,淬火更安全,結構更穩定。













立式淬火爐由以下幾部分組成。

▲燒結系統;

▲電控系統;

▲脫扣系統;

▲淬火系統;

配置詳情



   設備特點(diǎn):

    1、MoSi2加熱元件懸吊安裝,易于更換;
  2、真空陶瓷纖維板構成保溫材料;
  3、用于垂直式運行的RHTV 型管式爐,帶支架;
  4、B型熱電偶;
  5、調功單元配備低壓變壓器和可控硅調節器;
  6、溫度選擇限制器,用于對爐子和貨品進(jìn)行過(guò)溫保護;
  7、帶控制器的開(kāi)關(guān)設備與窯爐分開(kāi),安裝于單獨的立式柜中;
  8、電動(dòng)旋轉脫扣結構,淬火更安全,結構更穩定。

設備名稱(chēng)

立式HVPE單晶生長(cháng)系統

規格型號

NBD-LT1700-60TI-200

Tmax

1650℃

供電電源

單相220V 50HZ

額定功率

5KW

加熱溫區尺寸

Φ220*210mm

 進(jìn)出氣系統

Φ6.35內外拋光Ba級不銹鋼管     

爐管材質(zhì)

剛玉管Φ60*1000mm
控溫精度

±1

測溫元件類(lèi)型

B型熱電偶,Φ8*150mm

爐管材質(zhì)

剛玉管Φ60*1000mm

淬火罐內尺寸

Φ130*220mm
升溫速率

1℃/H-20℃/Min

進(jìn)出氣系統

帶電磁閥控制Φ6.35內外拋光Ba級不銹鋼管   

爐體尺寸

長(cháng)1075*高1780*深610mm

控制系統

 1、燒結工藝曲線(xiàn)設置:動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn),設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn),每條工藝曲線(xiàn)可自由設置;

 2、可預約燒結,實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結;

 3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據,并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄;

 4、具有實(shí)現遠程操控,實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài);

 5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正

溫度精度

±1℃

加熱元件

高純硅鉬棒

壓力測量與監控

采用機械壓力表,表外殼為氣密型結構,能有效保護內部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時(shí)具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。

供氣系統

    

采用浮子流量計控制氣體流速,與設備一體化,且出廠(chǎng)前已進(jìn)行漏氣測試工作。

電磁脫扣觀(guān)察窗


達到設定溫度后,即可根據需要進(jìn)行脫扣,通過(guò)觀(guān)察口可以十分清楚的看到整個(gè)脫扣過(guò)程;


凈重

260kg

設備使用注意事項

   1、設備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開(kāi)爐膛,避免受到傷害;

   2、設備使用時(shí),爐管內壓力不得超過(guò)0.125MPa(絕對壓力),以防止壓力過(guò)大造成設備損壞;

   3、真空下使用時(shí),設備使用溫度不得超過(guò)800℃。

   4、供氣鋼瓶?jì)炔繗鈮狠^高,向爐管內通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在選購試驗用小壓力減壓閥,減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時(shí)會(huì )更加精確安全。

   5、當爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態(tài);

   6、高純石英管的長(cháng)時(shí)間使用溫度≦1100℃

   7、加熱的實(shí)驗時(shí),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.15MPa,必須立刻打開(kāi)排氣端閥門(mén),以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。

服務(wù)支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件。)

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