項目

設備技術(shù)指標選擇

設備型號

加熱系統

晶體生長(cháng)環(huán)境選擇

氧化氣氛/保護氣氛/真空狀態(tài)

長(cháng)晶溫區選擇

單溫區200mm /300mm/400mm

雙溫100+100/200+200mm /300+300mm

三溫：200+200+200mm

反應腔尺寸選選擇

Φ50/Φ60/Φ80/Φ100（更多選擇聯(lián)系客服）

主控最高工作溫度

1150℃/1650℃

控溫精度

300~1150±0.5℃

主控爐膛材料

高純多晶纖維復合耐火保溫層

主控爐膛模式

環(huán)形加熱整體密閉

密封方式

水冷不銹鋼密封法蘭

提拉系統

長(cháng)晶模式選擇

坩堝下降法 /坩堝平移法

物料裝載模式

上吊裝下推進(jìn)模式/下裝載模式

晶體運動(dòng)方式選擇

坩堝只移動(dòng)/ 坩堝移動(dòng)并旋轉

結構

雙層滑軌結構，C7大力距滾珠絲杠，SPY鋁托硬光軸直線(xiàn)導軌

長(cháng)晶進(jìn)給系統

伺服進(jìn)給高精度運行平穩，大扭矩諧波減速進(jìn)給速度30μm/h~30000μm/h可調，物料下推進(jìn)運動(dòng)模式，無(wú)旋轉

裝料密封方式

電動(dòng)密封法蘭

裝料密封電機

57CM23閉環(huán)步進(jìn)電機，平穩高速

供氣系統

流量計選擇

1/2/3路質(zhì)子子流量計100sccm  200sccm  ,500sccm

氣路管芯

專(zhuān)用不銹鋼氣體管道（1/4"）

調節閥類(lèi)型

手動(dòng)調節閥

管道常態(tài)

常閉

測量精度

±1.0%F.S

線(xiàn)性度

±0.5%F.S

重復精度

±0.2%F.S

壓力范圍

-0.1-0.15 MPa

響應時(shí)間

2S

工作環(huán)境溫度

(15～50℃)

精度保證溫度

(15～35℃)

真空系統

真空類(lèi)型選擇

NBD-4C真空泵/ NBD-103（A） 分子泵系統

真空計類(lèi)型

數字真空計/模擬真空計

系統真空

≤5pa  /2.8*10-3pa

操控系統

操控模式

1、燒結工藝曲線(xiàn)設置：動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn)，設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn)，每條工藝曲線(xiàn)可自由設置；
2、可預約燒結，實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結；
3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄；
4、具有實(shí)現遠程操控，實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài)；
5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正

長(cháng)晶工藝設置

可預存15組工藝曲線(xiàn)，工藝曲線(xiàn)包括溫度，氣體流量，晶體進(jìn)給速度（長(cháng)晶速率），任意調用；長(cháng)晶結束，報警提示，并生成實(shí)驗報告導出，（）包含但不限于溫度，氣體流量，進(jìn)給速率等）

溫度校正

主控控溫溫度和試樣溫度的差值，系統全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正（詢(xún)問(wèn)客戶(hù)長(cháng)晶溫度點(diǎn)，可做特別效驗）

實(shí)現功能

可適用于布里奇曼法在真空或氣氛或空氣狀態(tài)生長(cháng)的各類(lèi)晶體（坩堝下降法）

系統保護

超溫報警，過(guò)流保護，斷偶提示

隨機產(chǎn)品配置

反應腔1根 ，鎳鉻鋁吊絲5米 ，說(shuō)明書(shū)1份;隨機工具等。

服務(wù)項目

運輸及保險費，包裝費,安裝及技術(shù)服務(wù)費； 提供12個(gè)月質(zhì)保，觸控系統24個(gè)月，終身保修