發(fā)布時(shí)間:2021-04-20 瀏覽次數:1730
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設備簡(jiǎn)介: NBD-CVD1200系列一體機采用國際先進(jìn)制造工藝,從美學(xué)藝術(shù)角度出發(fā)根據人體安全的角度設計,控制系統采用先進(jìn)的PLC+觸摸屏操控系統,操作更加簡(jiǎn)單方便。溫度控制采用先進(jìn)的PID模糊控制,使控溫精度保持在±1℃。適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實(shí)驗、真空退火等試驗。
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1.爐體與控制系統集成一體化,使試驗方便快捷直觀(guān)。 2.配置浮子流量計或質(zhì)量流量計混氣氣路,可以單獨設置氣體流量。 3.精確PID程序多段控制,實(shí)現不同工藝多段溫度時(shí)間監控。 4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果極佳。 5.配備機械泵或分子真空泵,可以實(shí)現不同的真空條件。 |
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產(chǎn)品型號 |
NBD-CVDO1200 |
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爐管直徑 |
Φ50、φ60、φ80、φ100 (可自選) |
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工作溫度 |
≤1100℃ |
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溫區選擇 |
單溫區 |
雙溫區 |
三溫區 |
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加熱區尺寸 |
440mm |
200mm + 200mm |
200mm + 400mm + 200mm |
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電器規格 |
AC220V 4KW |
AC220V 5KW |
AC220V 8KW |
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升溫速率 |
建議 10℃/min |
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控制系統 |
1、燒結工藝曲線(xiàn)設置:動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn),設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn),每條工藝曲線(xiàn)可自由設置; |
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氣體系統(可選購) |
流量計類(lèi)型 |
浮子流量計 |
質(zhì)量流量計 |
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管道示意圖 |
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進(jìn)氣接口數量 |
2、3、4(多路可選) |
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流量范圍 |
20-250/20-800ml/min(多量程可選) |
50/100/200sccm(多量程可選) |
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工作壓差范圍 |
0-0.15MPa |
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低真空系統(可選購) |
真空泵型號 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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抽氣速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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進(jìn)排氣口尺寸 |
Φ8mm寶塔接頭 |
Φ8mm寶塔接頭 |
KF16/25 |
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極限壓力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
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工作溫度 |
5-40℃ |
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電氣規格 |
AC220V |
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高真空系統(可選購) |
真空泵型號 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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抽氣速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
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真空測量計 |
復合真空計 |
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極限壓力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作溫度 |
5-40℃ |
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電氣規格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非標定做,更多型號,歡迎來(lái)電垂詢(xún)400-000-3746 |
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