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1200℃CVD一體機

發(fā)布時(shí)間:2021-04-20  瀏覽次數:1730

 

設備簡(jiǎn)介:

NBD-CVD1200系列一體機采用國際先進(jìn)制造工藝,從美學(xué)藝術(shù)角度出發(fā)根據人體安全的角度設計,控制系統采用先進(jìn)的PLC+觸摸屏操控系統,操作更加簡(jiǎn)單方便。溫度控制采用先進(jìn)的PID模糊控制,使控溫精度保持在±1℃。適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實(shí)驗、真空退火等試驗。

          

 

 

 

 

 

 


 

1.爐體與控制系統集成一體化,使試驗方便快捷直觀(guān)。

2.配置浮子流量計或質(zhì)量流量計混氣氣路,可以單獨設置氣體流量。

3.精確PID程序多段控制,實(shí)現不同工藝多段溫度時(shí)間監控。

4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果極佳。

5.配備機械泵或分子真空泵,可以實(shí)現不同的真空條件。

產(chǎn)品型號

NBD-CVDO1200

爐管直徑

Φ50、φ60、φ80、φ100   (可自選)

工作溫度

≤1100

溫區選擇

單溫區

雙溫區

三溫區

加熱區尺寸

440mm

200mm + 200mm

200mm + 400mm + 200mm

電器規格

AC220V 4KW

AC220V 5KW

AC220V 8KW

升溫速率

建議 10/min

控制系統

1、燒結工藝曲線(xiàn)設置:動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn),設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn),每條工藝曲線(xiàn)可自由設置;
2、可預約燒結,實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結;
3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據,并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄;
4、具有實(shí)現遠程操控,實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài);
5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正。

氣體系統(可選購)

流量計類(lèi)型

浮子流量計

質(zhì)量流量計

管道示意圖

 

 

進(jìn)氣接口數量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-250/20-800ml/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(可選購)

真空泵型號

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40

電氣規格

AC220V

高真空系統(可選購)

真空泵型號

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測量計

復合真空計

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40

電氣規格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非標定做,更多型號,歡迎來(lái)電垂詢(xún)400-000-3746



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