亚洲精品无码中文久久字幕_国产成人AV一区二区三区中文精品_国产强伦姧在线观看无码_久久精品国产福利国产秒拍_亚洲熟妇无码AV在线播放
    收藏本站    |   聯(lián)系我們    |  中文 / EN
    CVD系統 當前位置:網(wǎng)站首頁(yè) > 產(chǎn)品展示

化學(xué)氣相沉積CVD一體機

發(fā)布時(shí)間:2021-04-14  瀏覽次數:2352

設備簡(jiǎn)介:

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或在基質(zhì)表面反應合成涂層或米材料的方法,是半導體工業(yè)中應用最為廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統,適用于各大高校材料實(shí)驗室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域;


 

 

 

 

 

 

 

技術(shù)參數 

 

1.爐體與控制系統集成一體化,使試驗方便快捷直觀(guān)。

2.配置浮子流量計或質(zhì)量流量計混氣氣路,可以單獨設置氣體流量。

3.精確PID程序多段控制,實(shí)現不同工藝多段溫度時(shí)間監控。

4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果極佳。

5.配備機械泵或分子真空泵,可以實(shí)現不同的真空條件。

產(chǎn)品型號


NBD-T1700-80TIG3Z

工作溫度


≤1650

加熱區尺寸


310mm

恒溫區尺寸
220mm

升溫速率


20/min

電氣規格


AC 220V  4.5KW

控制系統

1、燒結工藝曲線(xiàn)設置:動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn),設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn),每條工藝曲線(xiàn)可自由設置;
2、可預約燒結,實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結;
3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據,并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄;
4、具有實(shí)現遠程操控,實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài);
5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正。

氣體系統(可選購)


流量計類(lèi)型

浮子流量計

質(zhì)量流量計

管道示意圖

 

 

進(jìn)氣接口數量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-200/60-600l/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(可選購)

真空泵型號

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40

電氣規格

AC220V

分子泵高真空系統

(可選購)

分子泵系統型號

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測量計

復合真空計

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40

電氣規格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非標定做,更多型號,歡迎來(lái)電垂詢(xún)400-000-3746

免責聲明:本站產(chǎn)品介紹內容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r(shí),或許導致所述內容與實(shí)際情況存在一定的差異,請與本公司客服人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。


上一篇:1200℃CVD一體機
下一篇:多溫區CVD系統
亚洲精品无码中文久久字幕_国产成人AV一区二区三区中文精品_国产强伦姧在线观看无码_久久精品国产福利国产秒拍_亚洲熟妇无码AV在线播放