該射頻電源匹配器小巧、輕便，擁有空冷式設計。高質(zhì)量的組件和較少的零件數量使可靠性和產(chǎn)品使用壽命均得以提升，從而使您的投資和制程生產(chǎn)力得到有效的利用。一個(gè)直觀(guān)、快捷的操作菜單（可在該組件的多功能前面板上切換，并顯示在一個(gè)128 x 64像素的液晶顯示屏上）帶來(lái)了無(wú)比的便利性——提高了操作人員的效率，并使培訓成本很低。此款設備配置13.56MHz的射頻輸出，可匹配普通型管式爐做等離子體增強型化學(xué)氣相沉積（PECVD）使用，是實(shí)驗室做PECVD鍍膜的理想選擇。

基本參數

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