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CVD系統T1700-XTIG2Z

發(fā)布時(shí)間:2017-11-16  瀏覽次數:4722


設備簡(jiǎn)介:

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業(yè)中應用非常廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統,適用于各大高校材料實(shí)驗室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域;




    

 

 

 

 

 



配置詳情

NBD-101E嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話(huà)模式,非線(xiàn)性式樣溫度修正;


產(chǎn)品型號

CVDT1700-50TIG2Z

CVD T1700-60TIG2Z

CVD T1700-80TIG2Z

爐管尺寸

Φ50*1000mm

Φ60*1000mm

Φ80*1000mm

工作溫度

≤1650℃

加熱區尺寸

310mm

升溫速率

≤20℃/min

電氣規格

AC 220V  4.5KW

氣體系統(可選購)

流量計類(lèi)型

浮子流量計

質(zhì)量流量計

管道示意圖

 

 

進(jìn)氣接口數量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-250/20-800ml/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(可選購)

真空泵型號

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規格

AC220V

高真空系統(可選購)

真空泵型號

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測量計

復合真空計

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非標定做,更多型號,歡迎來(lái)電垂詢(xún)400-000-3746


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