發(fā)布時(shí)間：2017-11-16 瀏覽次數：4339
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設備簡(jiǎn)介： 化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業(yè)中應用非常廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統，適用于各大高校材料實(shí)驗室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域。
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配置詳情
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NBD-101E嵌入式操作系統中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話(huà)模式，非線(xiàn)性式樣溫度修正；
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產(chǎn)品型號 |
NBD-O1200-XT33（爐管直徑50、60、80、100mm可選） |
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工作溫度 |
≤1150℃ |
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加熱區尺寸 |
200mm+400mm+200mm（三溫三控）
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升溫速率 |
≤20℃/min |
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電氣規格 |
AC 380V 8KW |
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氣體系統（可選購） |
流量計類(lèi)型 |
浮子流量計 |
質(zhì)量流量計 |
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管道示意圖 |
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進(jìn)氣接口數量 |
2、3、4（多路可選） |
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流量范圍 |
20-250/20-800ml/min(多量程可選) |
50/100/200sccm(多量程可選) |
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工作壓差范圍 |
0-0.15MPa |
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低真空系統（可選購） |
真空泵型號 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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抽氣速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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進(jìn)排氣口尺寸 |
Φ8mm寶塔接頭 |
Φ8mm寶塔接頭 |
KF16/25 |
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極限壓力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
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工作溫度 |
5-40℃ |
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電氣規格 |
AC220V |
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高真空系統（可選購） |
真空泵型號 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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抽氣速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
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真空測量計 |
復合真空計 |
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極限壓力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作溫度 |
5-40℃ |
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電氣規格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非標定做，更多型號，歡迎來(lái)電垂詢(xún)400-000-3746 |
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