發(fā)布時(shí)間:2023-11-11 瀏覽次數:616
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設備簡(jiǎn)介: 三溫區梯度爐為滿(mǎn)足各類(lèi)CVD工藝的要求,我們將多個(gè)溫區的控制儀表全部融合到了智能控制系統里邊,您只需通過(guò)輕輕點(diǎn)擊觸摸屏即可完成所有的參數設定。在滿(mǎn)足不同溫區梯度控制的同時(shí),還可將多個(gè)溫區設定為同一溫度點(diǎn),作為加長(cháng)的單溫區使用。它延續了開(kāi)啟式管式爐的經(jīng)典設計,美觀(guān)與實(shí)用同在!
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配置詳情
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設備特點(diǎn):
1、雙層鋼結構; 2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,最大節約能源; 3、耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長(cháng)使用壽命; 4、氧化鋁管塞可幫助您在管內建立自定義的溫度梯度。
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產(chǎn)品型號 |
NBD-O1200-50T3GF |
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Tmax |
1200℃ | ||
額定溫度 |
1150℃ | ||
供電電源 |
220V 50HZ |
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額定功率 |
2.6KW |
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溫區長(cháng)度 |
100+200+100mm |
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長(cháng)期使用溫度范圍 |
300-1150℃ | ||
溫區數量 |
三溫單控 |
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升溫速率 |
1℃/H-20℃/Min |
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傳感器類(lèi)型 |
K型熱電偶 |
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爐管長(cháng)度 |
50*1000mm | ||
爐體尺寸 |
長(cháng)600*高550*深370mm |
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控制系統 |
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1、可預存15條溫度曲線(xiàn),避免不同的實(shí)驗工藝重復設置帶來(lái)的麻煩; 2、實(shí)驗過(guò)程更加直觀(guān),操作更加便捷; 3、NBD-101E嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話(huà)模式,非線(xiàn)性式樣溫度修正; 4、具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。
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加熱元件 |
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Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 |
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密封系統 |
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真空度:10Pa(機械泵) |
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壓力測量與監控 |
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采用機械壓力表,表外殼為氣密型結構,能有效保護內部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時(shí)具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。 |
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供氣系統 |
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采用浮子流量計控制氣體流速,與設備集成為一體,且出廠(chǎng)前已進(jìn)行漏氣測試工作。 |
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控溫精度 |
+/- 1℃ |
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凈重 |
約48KG |
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設備使用注意事項 |
1、設備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開(kāi)爐膛,避免受到傷害; 2、爐膛連續使用產(chǎn)生的輕微裂紋屬于正?,F象,不影響設備的正常使用; |
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服務(wù)支持 |
1年質(zhì)保,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件) |
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