1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；

2. 上開(kāi)啟式結構，方便觀(guān)察試樣；

3. 產(chǎn)品采用全自動(dòng)控制方式，觸摸屏，數字化顯示；

4. 設備一體化程度高； 

5. 穩定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量；

產(chǎn)品型號

NBD-PECVD1200-80TI

電氣規格

AC220V    4KW

可達溫度

1200 ℃

連續溫度

1150 ℃

可達加熱速率

≤  20 ℃/分鐘

射頻電源

500W   13.56MHz

爐管尺寸

Φ80*1200mm

如圖所示：此為該設備沉積過(guò)程中的示意圖

控制系統

1.NBD-101EP嵌入式操作系統中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話(huà)模式，實(shí)時(shí)加熱功率顯示，非線(xiàn)性式樣溫度修正；實(shí)驗報告自主生成，實(shí)驗數據無(wú)限次導出。

2.實(shí)驗過(guò)程更加直觀(guān)，操作更加便捷；

3.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。

溫度精度

+/- 1 ℃

加熱元件

Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

密封系統

真空度：≤10Pa（機械泵）

壓力測量與監控

采用數顯真空計，可使設備真空度更加直觀(guān)，實(shí)驗結果更加準確。

供氣系統

采用兩路質(zhì)子流量計精確控制氣體流速，與設備集成為一體；

凈重

360KG

設備使用注意事項

1. 設備爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開(kāi)爐膛，避免受到傷害；

2. 設備使用時(shí)，爐管內壓力不得超過(guò)0.125MPa（絕對壓力），以防止壓力過(guò)大造成設備損壞；

3. 真空下使用時(shí)，設備使用溫度不得超過(guò)800℃。

   4. 供氣鋼瓶?jì)炔繗鈮狠^高，向爐管內通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在選購試驗用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時(shí)會(huì )更加精確安全。

   5.當爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態(tài)；

   6.高純石英管的長(cháng)時(shí)間使用溫度≦1100℃

   7.加熱的實(shí)驗時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣端閥門(mén)，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

服務(wù)支持

1年質(zhì)保，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如爐管和密封圈等）。