發(fā)布時(shí)間：2017-11-16 瀏覽次數：4613
產(chǎn)品型號：NBD-103(B)
該系統采用分子泵作為主工作泵，103(B)真空系統采用機械泵作為分子泵前級泵，機械泵內部已配有隔斷放氣裝置，它主要由連接管道，103(B)真空系統分子泵,機械泵構成，通過(guò)標準配件連接,全部采用不銹鋼材料，電拋光處理。系統設計有預抽功能。
主要配置：
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序 號 |
主要配置 |
NBD-103(A)系統 |
NBD-103(B)系統 |
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1 |
機械泵 |
抽氣速率：4L/S 電機功率：400W 極限壓強6X10-2Pa |
抽氣速率：6L/S 電機功率：500W 極限壓強6X10-2Pa |
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2 |
分子泵參數
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抽氣速率：100L/S 極限壓強：6X10-6Pa 啟動(dòng)時(shí)間：＜2min 額定轉速：43000轉/分 冷卻方式:：風(fēng)冷/水冷 |
抽氣速率：600L/S 極限壓強：6X10-6Pa 啟動(dòng)時(shí)間：＜2min 額定轉速：27000轉/分 冷卻方式:：風(fēng)冷/水冷 |
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3 |
分子泵控制電源 |
電壓：200~240V 輸出功率：250W 加速時(shí)間：3分鐘 輸出頻率：高速704Hz±10% 低速430 Hz±10% |
電壓：380~410V 輸出功率：400W 加速時(shí)間：3分鐘 輸出頻率：高速704Hz±10% 低速430 Hz±10% |
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4 |
復合真空計 |
工作電電壓： 220V 50~60HZ 電阻規阻值：約85 歐 自動(dòng)保護（電離）>10Pa 電離規管測量范圍：100~1010-5Pa 電阻規管測量范圍：105 ～10-1 pa |
工作電電壓： 220V 50~60HZ 電阻規阻值：約85 歐 自動(dòng)保護（電離）>10Pa 電離規管測量范圍：100~1010-5Pa 電阻規管測量范圍： 105 ～10-1 pa |
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5 |
高真空手動(dòng)隔斷閥 |
采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口，漏率達5X10-9 Pam3/s |
采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口， 漏率達5X10-9 Pam3/s |
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6 |
103(B)真空系統連接管路 |
采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于 1×10-9Pa.m3/s |
采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于 1×10-9Pa.m3/s |
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