發(fā)布時(shí)間:2017-11-16 瀏覽次數:8387
|
設備簡(jiǎn)介: 化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業(yè)中應用非常廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統,適用于各大高校材料實(shí)驗室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域。
|
配置詳情
|
NBD-101E嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話(huà)模式,非線(xiàn)性式樣溫度修正;
|
||||||||
產(chǎn)品型號 |
NBD-O1200-XTI(爐管直徑50、60、80、100mm可選) |
||||||||
工作溫度 |
≤1150℃ |
||||||||
加熱區尺寸 |
440mm |
||||||||
升溫速率 |
≤20℃/min |
||||||||
電氣規格 |
AC 220V 4KW |
||||||||
氣體系統(可選購) |
流量計類(lèi)型 |
浮子流量計 |
質(zhì)量流量計 |
||||||
管道示意圖 |
|
|
|||||||
進(jìn)氣接口數量 |
2、3、4(多路可選) |
||||||||
流量范圍 |
20-250/20-800ml/min(多量程可選) |
50/100/200sccm(多量程可選) |
|||||||
工作壓差范圍 |
0-0.15MPa |
||||||||
低真空系統(可選購) |
真空泵型號 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
|||||
抽氣速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
||||||
進(jìn)排氣口尺寸 |
Φ8mm寶塔接頭 |
Φ8mm寶塔接頭 |
KF16/25 |
||||||
極限壓力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
||||||
工作溫度 |
5-40℃ |
||||||||
電氣規格 |
AC220V |
||||||||
高真空系統(可選購) |
真空泵型號 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
|||||
抽氣速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
||||||
真空測量計 |
復合真空計 |
||||||||
極限壓力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
||||||
工作溫度 |
5-40℃ |
||||||||
電氣規格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
||||||
* 支持非標定做,更多型號,歡迎來(lái)電垂詢(xún)400-000-3746 |
免責聲明:本站產(chǎn)品介紹內容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r(shí),或許導致所述內容與實(shí)際情況存在一定的差異,請與本公司客服人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。