NBD-LJ10專(zhuān)為掃描電鏡制作樣品而設計，具有結構簡(jiǎn)單、使用方便等特點(diǎn)。它不需要很 高的真空度就可以對掃描電鏡樣品進(jìn)行離子濺射，因此它可以作為掃描電鏡樣品鍍膜的基本設備。

主要特點(diǎn)

1.采用4C靜音真空泵，各方面降噪，提升實(shí)驗感受；

2.標配樣品室真空表和濺射電流表，實(shí)時(shí)顯示和監控儀器狀態(tài)；

3.邊緣橡膠密封圈，長(cháng)期使用不會(huì )出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現象。

4.配置濺射電流控制器和微型真空氣閥。結合自動(dòng)控制電路，輕松控制真空室壓強、電離電流，并可任意選擇所需電離氣體，以獲得很好的鍍膜效果；

5.標配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸純金靶，濺射范圍更大；

技術(shù)參數

1、真空腔體：Φ125（113）*126mm  ；

2、試樣臺尺寸：Φ40nn；

3、樣品臺可調高度：65mm；     

4、金靶尺寸：Φ58*0.12mm；

5、真空檢測：皮氏真空計；

6、真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節工作真空；

7、工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專(zhuān)用進(jìn)氣口和微量充氣調節 ；

8、濺射材質(zhì)：鐵、鈷、鉺；

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