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卷對卷二維材料制備系統

發(fā)布時(shí)間: 2025-07-03 23:07:34    瀏覽次數:67

卷對卷二維材料制備系統是一種面向大規模、連續化生產(chǎn)的先進(jìn)薄膜材料制造裝備,專(zhuān)為石墨烯、過(guò)渡金屬硫化物(如MoS?、WS?)、六方氮化硼(h-BN)、MXene等二維納米材料的高效可控制備而設計。該系統融合了先進(jìn)的柔性基材傳輸技術(shù)、高精度沉積工藝、在線(xiàn)檢測與閉環(huán)控制系統,實(shí)現了從實(shí)驗室研究向工業(yè)化量產(chǎn)的關(guān)鍵跨越。

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產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品視頻
應用領(lǐng)域
客戶(hù)應用案例

主要特點(diǎn)

高效連續生產(chǎn)

實(shí)現批量化、自動(dòng)化制造,顯著(zhù)提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)能

工藝靈活性

支持多種沉積技術(shù)(CVD/PVD/ALD等)和多步工藝串聯(lián)

材料多樣性

可制備石墨烯、TMDs、hBN、MXene等多種二維材料 基材兼容性強支持聚合物膜、金屬箔、陶瓷涂層等多種柔性基材

智能控制

全流程PLC控制,支持遠程監控與數據追溯

節能環(huán)保

精確供氣與廢氣回收系統,降低能耗與污染排放。

設備名稱(chēng)

卷對卷二維材料制備系統

規格型號

NBD-O1200-100TP3D4ZY-N

供電電源

AC380V 50/60HZ

額定功率

10KW

溫區數量

三溫三控

控溫精度

±1℃

加熱元件

合金加熱絲

傳感器類(lèi)型

K型熱電偶φ2*420mm

Tmax

1200℃

長(cháng)期工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

≤10℃/min

爐膛溫區尺寸

Φ150*(200+400+200)mm

爐管規格

石英管Φ100*1600*3mm

?

?

四路質(zhì)子流量計控制系統

電壓:AC220V/50HZ

功率:23W氮氣標定(氣體自動(dòng)互換)

一路、二路、三路:S500 1000SCCM φ6.35雙卡套 ?2米空頭線(xiàn) 氟橡膠密封 氮氣標定

四路:S500 3SLM ?φ6.35雙卡套 2米空頭線(xiàn) 氟橡膠密封 氮氣標定

?

低真空機組

真空泵抽氣速率:≥4.4L/s

負壓恒壓范圍:13-12000pa

真空腔室極限真空度:<5*10-2torr(冷態(tài)下機械泵抽20min)

卷對卷機構

?銅箔一卷重量約為2KG,寬度80mm,厚度0.04mm,其移動(dòng)速度為1-100mm/min可調;

爐體尺寸

長(cháng)2700*高1400*深900mm

爐體重量

530KG

控制系統

?

1、燒結工藝曲線(xiàn)設置:動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn),設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn),每條工藝曲線(xiàn)可自由設置;

2、可預約燒結,實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結;

3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據,并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄;

4、具有實(shí)現遠程操控,實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài);

5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正。

設備細節


真空腔體

設備使用注意事項

1、設備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開(kāi)爐膛,避免受到傷害;

2、爐膛連續使用產(chǎn)生的輕微裂紋屬于正?,F象,不影響設備的正常使用;?

服務(wù)與支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件)。

柔性電子:

柔性透明導電膜、晶體管、傳感器、觸控面板;

新能源:

鋰離子電池負極材料、超級電容器電極、氫燃料電池催化劑載體;

光伏器件:

鈣鈦礦太陽(yáng)能電池電極、透明導電層;

生物傳感:

生物傳感器片、激光器材料 ;

新材料研發(fā):

二維異質(zhì)結構建、復合結構制備、新型材料探索。


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