恒壓控制系統-河南諾巴迪材料科技有限公司

恒壓控制系統

發(fā)布時(shí)間： 2025-05-08 18:59:19 瀏覽次數：394

諾巴迪研發(fā)的恒壓控制系統采用的是變頻控制真空泵的原理，變頻真空泵可以自動(dòng)控制抽氣速率，進(jìn)而獲得腔室壓力的精密測量和恒壓控制，與我司的管式爐/鍍膜儀等設備相結合，實(shí)現CVD、PECVD等工藝壓力恒定的精確控制，整體采用國際先進(jìn)制造工藝，并且從美學(xué)藝術(shù)角度出發(fā)，根據人體安全的角度進(jìn)行設計，廣泛用于擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、混氣配氣系統及其它分析儀器中。

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	設備特點(diǎn)： 1、高真空恒壓； 2、獨有的恒壓控制系統，采用變頻控制真空泵保證爐管內維持一定的負壓； 3、控制穩定可靠，操作方便，安全防護措施完善； 4、設備采用數顯真空計和壓力傳感器進(jìn)行檢測，保壓效果更好； 5、具有物聯(lián)網(wǎng)功能（WIFI），可通過(guò)手機、電腦遠程對設備進(jìn)行監控，操作。 6、數據存儲功能，可保存重要參數，時(shí)長(cháng)達30天之久（每天開(kāi)機8小時(shí)）。 7、聯(lián)網(wǎng)功能，通過(guò)RJ45接口，采用TCP/IP協(xié)議，可以讓系統與上位機相連（上位機需安裝相應軟件）。
設備名稱(chēng)	恒壓控制系統
規格型號	恒壓控制系統NBD-HY14CB
供電電源	單相220V 50HZ 800W
額定功率	1KW
真空泵型號	變頻真空泵 DRV16C單相 KF25（帶油霧過(guò)濾器）
壓力傳感器	0-100Kpa
數顯真空計	PG800K 1Pa-10000Pa
壓力控制范圍	壓力穩定范圍200pa~50Kpa(對應進(jìn)氣量為200m1~17L)
測量精度	±1pa（數顯真空計控制）
壓力控制范圍	10Kpa-50Kpa（壓力傳感器控制）6L/min-17L/min的進(jìn)氣量下
測量精度	精度可控制范圍±1%（壓力傳感器控制）
設備占地尺寸	長(cháng)650高420深450mm（不含泵尺寸：300280370mm）
重量	約40KG
服務(wù)支持	一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件）。

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