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布里奇曼晶體生長(cháng)爐

發(fā)布時(shí)間: 2025-03-12 16:30:21    瀏覽次數:900

布里奇曼長(cháng)晶爐是一種用于制備高質(zhì)量單晶材料的設備,特別適用于生長(cháng)半導體、金屬和陶瓷等材料的單晶。這種爐子通過(guò)控制溫度梯度和材料冷卻速率來(lái)實(shí)現晶體生長(cháng)。此設備結合了“垂直坩堝下降,爐膛移動(dòng)”、旋轉提拉”的技術(shù)是一種較為先進(jìn)的配置,提高了晶體生長(cháng)的質(zhì)量和均勻性。

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產(chǎn)品詳情
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設備特點(diǎn):

1. 高精度控制

溫度控制:采用PID控制器,實(shí)現對溫度的精確控制,確保晶體生長(cháng)過(guò)程中的溫度穩定性和梯度一致性。

運動(dòng)控制:精密的機械系統和伺服電機驅動(dòng),保證坩堝下降、爐膛移動(dòng)以及旋轉提拉動(dòng)作的平穩性和準確性。

2. 優(yōu)化的溫度梯度

通過(guò)精心設計的加熱元件布局和冷卻系統,能夠在熔體內形成理想的溫度梯度,有利于單晶的無(wú)缺陷生長(cháng)。

3. 均勻性與質(zhì)量

旋轉提拉:旋轉有助于熔體內部溫度和成分的均勻分布,減少晶體中的微觀(guān)缺陷。

提拉速度可調:根據不同的材料特性調整提拉速度,以獲得最佳的晶體生長(cháng)條件。

4. 自動(dòng)化程度高

編程控制:支持多段溫度曲線(xiàn)編程及運動(dòng)參數設置,用戶(hù)可以通過(guò)觸摸屏或計算機界面輕松設定并監控整個(gè)生長(cháng)過(guò)程。

數據記錄與分析:內置數據采集系統,實(shí)時(shí)記錄溫度、位置、轉速等關(guān)鍵參數,并提供專(zhuān)業(yè)的數據分析軟件,便于后續分析。

設備名稱(chēng)

布里奇曼單晶生長(cháng)爐

設備型號

LO1700-100T2F

電源

AC380V 50Hz

最大功率

9.5KW

Tmax

1650℃(<1小時(shí))

連續工作溫度

1600℃

加熱元件

硅鉬棒

爐管法蘭

99剛玉管尺寸Φ100*1300mm(使用溫度<1700℃)

配有一套不銹鋼密封法蘭,允許在真空或氣氛保護環(huán)境下進(jìn)行晶體生長(cháng)

樣品臺

Φ80mm石墨樣品臺

B型熱偶插入到樣品臺底部,可實(shí)時(shí)測量坩堝溫度

坩堝裝載

自動(dòng)樣品臺升降,便于坩堝放置/取樣

最大行程700mm

加熱區

雙溫區,溫區長(cháng)度100+100mm

控溫系統

采用PID方式控溫,可設置升降溫程序

帶有超溫和斷偶保護

控溫精度

±1℃

熱電偶

B型熱偶

爐體移動(dòng)行程及速度

爐體最大移動(dòng)行程為300mm

移動(dòng)速度:0.03~6000mm/小時(shí)

控制系統

1、燒結工藝曲線(xiàn)設置:動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn),設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn),每條工藝曲線(xiàn)可自由設置;


2、可預約燒結,實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結;

3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據,并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄;

4、具有實(shí)現遠程操控,實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài);

5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正。

弱腐蝕性氣體預熱器

(可選配)



通體采用316L材料,對于各種氣體以及腐蝕性氣體的預加熱處理,滿(mǎn)足特殊的工藝需求,最高溫度達600℃。
設備使用注意事項1、設備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開(kāi)爐膛,避免受到傷害;

2、設備使用時(shí),爐管內壓力不得超過(guò)0.125MPa(絕對壓力),以防止壓力過(guò)大造成設備損壞;

3、真空下使用時(shí),設備使用溫度不得超過(guò)800℃。

4、供氣鋼瓶?jì)炔繗鈮狠^高,向爐管內通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在選購試驗用小壓力減壓閥,減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時(shí)會(huì )更加精確安全。

5、當爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態(tài);

6、高純石英管的長(cháng)時(shí)間使用溫度≦1100℃

7、加熱的實(shí)驗時(shí),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.15MPa,必須立刻打開(kāi)排氣端閥門(mén),以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。

服務(wù)支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件。)

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