該尾氣裝置處理主要介質(zhì)

硅烷 SiH4、磷烷 PH3、鍺烷 GeH4、二氧化硅 SiO2、硼烷 B2H6、三氟化硼 BF3、一氧化二氮(笑氣)N2O、八氟環(huán)丁烷 C4F8、四氟化碳 CF4、四氯化鍺 GeCl4、四氯化硅 SiCl4、三氯氫硅 SiHCl3、氯氣 Cl2、三氯化硼 BCl3、四氯化碳 CCl4、氯化碳 CCl2、氟氣 F2、其它酸堿性尾氣硫化氫 H2S、氨氣 NH3、鹽酸 HCl、硫酸 H2SO4、二氧化硫 SO2、粉塵等及粉塵等。

風(fēng)機基本控制

尾氣處理裝置配套風(fēng)機 1 臺（無(wú)備用，不采用負壓穩定變送器與變頻器聯(lián)動(dòng)）。

水泵控制

尾氣處理裝置，磁力驅動(dòng)泵 1 臺，水泵出水口配置過(guò)濾裝置等。

給排水控制

進(jìn)水采用手動(dòng)+自動(dòng)方式補水，排液采用手動(dòng)方式排液。

自動(dòng)加藥控制

配 1 套自動(dòng)加藥裝置，自動(dòng)加藥裝置包含 PH 探頭、計量泵、信號傳送線(xiàn)、加藥桶（不帶攪拌）。設置 PH 值 4-6，通過(guò) PH 計反饋信號給計量泵，往循環(huán)箱內加藥或停止加藥動(dòng)作，具體根據現場(chǎng)實(shí)際濃度情況進(jìn)行設置、調整

安全控制

1、壓縮空氣在線(xiàn)安全控制：即連續在線(xiàn)通入壓縮空氣，促使硅烷尾氣加速自燃，防止硅烷積聚，壓縮空氣量 2500L/h，建議壓縮機排氣壓力不小于 7Bar。

2、氮氣保護安全控制：在有必要情況下或報警或緊急狀況下，緊急接入氮氣，稀釋保護硅烷氣體，降低風(fēng)險。

3、新風(fēng)補給安全控制：在應急燃燒筒上設置新風(fēng)補給安全口，促使硅烷尾氣加速自燃，防止硅烷積聚（本項目不設此裝置）。

4、防靜電安全控制：尾氣洗滌裝置采用進(jìn)口 PVC 材質(zhì)，無(wú)靜電產(chǎn)生。

5、濕法安全控制：工藝采用濕法噴淋處理，降低硅烷反應產(chǎn)生熱量，能有效熄火作用，同時(shí)還有水解硅烷作用。

注：此系統可包系統操作、數據監測在本地觸摸屏上完成，本地控制盤(pán) PLC 預留TCP/IP 通訊接口，數據打包，預留風(fēng)機運行、故障干接點(diǎn)，用于與貴方設備聯(lián)動(dòng)。

安全、穩定性最高

1、 采用連續的壓縮空氣補給進(jìn)風(fēng)形式，可使有硅烷 SiH4 等廢氣處理場(chǎng)景充分燃燒，若有氫氣 H2 存在則使系統在氫氣 H2 的安全極限范圍內，保證系統的長(cháng)久安全運行；

2、 強勁的多次高速霧化預清洗，保證除塵清洗凈化能力；

3、 強勁的排泄錐自生少許負壓，提高清洗凈化能力；

4、 采用燃燒預霧化噴淋段與凈化功能段獨立進(jìn)水、噴淋、排液，實(shí)現無(wú)堵塞問(wèn)題；

5、 無(wú)須停機即可清除處理量大時(shí)原進(jìn)口設備產(chǎn)生的進(jìn)氣口堵塞問(wèn)題；

6、 獨立排液控制系統，配備替換外運儲液箱體，一鍵完成排液、進(jìn)水工作內容。

（7）100%排放達標承諾

尾氣處理后滿(mǎn)足相應國家標準國家GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標準》中相應二級排放標準及GB30484-2013《電池工業(yè)污染物排放標準》。

（8）廢水排放方便

設備運行一段時(shí)間須更換溶液，以便更好地吸收尾氣。一般 10-15 天換一次，建議初期看水液運行狀況，可一周或二周內制定實(shí)施計劃，廢水理論上偏中性，排放應接入污水管網(wǎng)。排放只需要將相應排污閥門(mén)打開(kāi)即可，操作方便。

（9）服務(wù)技術(shù)支持能力強

質(zhì)量保證：本工程主體設備質(zhì)保 12 個(gè)月。質(zhì)保期內免費保修，除主體設備外的易損易耗件由需方自理，質(zhì)保期滿(mǎn)后成本保修。

本項目裝機及運行總功率：＜1.5kw。

（10） 占地面積

本項目占地面積及高度：長(cháng)(L)1m×寬(W)1.5m×高(H)2.5m（可在室內）。