發(fā)布時(shí)間： 2024-12-17 17:12:47 瀏覽次數：1153
設備簡(jiǎn)介：
真空氣氛爐是一種專(zhuān)門(mén)設計用于在高真空或特定氣氛環(huán)境下進(jìn)行材料處理、熱處理和化學(xué)反應的設備，廣泛應用于冶金、半導體制造、新材料研發(fā)、化工等領(lǐng)域。該設備通過(guò)精確控制氣氛條件（如真空、惰性氣體、還原性氣體等）和溫度，確保材料在無(wú)污染條件下完成高效的處理過(guò)程。真空氣氛爐能夠顯著(zhù)提高材料的質(zhì)量和性能，適用于對環(huán)境要求極高的實(shí)驗和生產(chǎn)過(guò)程。
 | 設備特點(diǎn)： 1. 高純度環(huán)境 ?高效真空泵：可選配高效真空泵系統，能夠在短時(shí)間內將爐內抽至高真空狀態(tài)（通?？蛇_10^-6 Torr），確保處理過(guò)程中無(wú)氧無(wú)污染。 ?氣氛控制系統：可以處理各種氣氛環(huán)境，如真空、惰性氣體（氬氣、氮氣）、還原性氣體（氫氣）等，滿(mǎn)足不同工藝需求。 2.均勻加熱 ?溫控精度：采用先進(jìn)的PID溫控系統，支持多段程序控制，確保溫度控制精度高，可重復性好。 ?溫度均勻性：通過(guò)優(yōu)化加熱元件布局和溫控系統，確保爐內溫度分布均勻，避免局部過(guò)熱或冷點(diǎn)。 3. 精準氣氛控制 ?氣氛切換裝置：允許在不同氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗，如從一種氣氛切換到另一種氣氛。 ?氣體流量控制器：用于精確控制氣體流量和比例，確保氣氛環(huán)境的穩定性和一致性。 ?壓力調節：部分型號配備壓力調節裝置，確保氣氛環(huán)境的壓力保持在設定范圍內。 4. 安全設計 ?多重保護措施：內置超溫保護、過(guò)流保護、緊急停機按鈕等多重安全保護措施，確保操作安全。 ?泄漏檢測：配備壓力和氣體泄漏檢測裝置，實(shí)時(shí)監測泄漏情況，確保安全。 ?防爆設計：對于需要使用易燃氣體（如氫氣）的情況，具備防爆設計，確保極端條件下的安全性。 5. 操作便捷 ?觸摸屏控制界面：配備觸摸屏控制界面，支持數據記錄和遠程監控，操作簡(jiǎn)便。 ?用戶(hù)友好：具有友好的用戶(hù)界面，易于操作和維護。 ?預設程序：提供多種預設加熱程序和氣氛條件，方便用戶(hù)根據具體需求選擇合適的工藝參數。 | |||||||
設備名稱(chēng) | 真空氣氛爐 | |||||||
規格型號 | VBF-1200（200*200*300） | |||||||
供電電源 | 三相380V 50HZ | |||||||
額定功率 | 45KW | |||||||
| 溫區數量 | 單溫單控 | |||||||
| 傳感器類(lèi)型 | S型熱電偶φ8*300mm | |||||||
| 浮子流量計 | 20-200L/min | |||||||
| Tmax | 1300℃（使用溫度室溫下1200℃） | |||||||
| 爐膛材料 | 304不銹鋼板+鉬板 | |||||||
| 爐膛尺寸 | φ392*410mm | |||||||
| 有效工作尺寸 | 長(cháng)200*高200*深300mm | |||||||
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |||||||
| 真空泵 | BSV90 KF40接口（極限真空4Pa） | |||||||
| 分子泵 | 進(jìn)氣口CF200，出氣口KF40（極限真空5*10^-6Pa） | |||||||
| 整機極限真空 | 6.7*10^-3Pa（空爐、冷態(tài)） | |||||||
爐體尺寸 | 長(cháng)1835*高2040*深1625mm | |||||||
水冷機尺寸 | 長(cháng)706*高1235*深1035mm | |||||||
控制系統 |
| 1、燒結工藝曲線(xiàn)設置：動(dòng)態(tài)顯示設置曲線(xiàn)，設備燒結可預存多條工藝曲線(xiàn)，每條工藝曲線(xiàn)可自由設置； 2、可預約燒結，實(shí)現無(wú)人值守燒結工藝曲線(xiàn)燒結； 3、實(shí)時(shí)顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實(shí)現無(wú)紙記錄； 4、具有實(shí)現遠程操控，實(shí)時(shí)觀(guān)測設備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正。 | ||||||
溫度精度 | ±1℃ | |||||||
加熱元件 |
| 鉬帶加熱爐膛 | ||||||
壓力測量與監控 |
| 采用浮子流量計控制氣體流速，與設備集成為一體，且出廠(chǎng)前已進(jìn)行漏氣測試工作。
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供氣系統 |  | 采用機械壓力表，表外殼為氣密型結構，能有效保護內部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入，同時(shí)具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。 | ||||||
弱腐蝕性氣體預熱器 （可選配） |  | 通體采用316L材料，對于各種氣體以及腐蝕性氣體的預加熱處理，滿(mǎn)足特殊的工藝需求，最高溫度達600℃。 | ||||||
凈重 | 約1215KG | |||||||
設備使用注意事項 | 1.設備使用時(shí)，絕對壓力表讀數不要大于0.15MPa，以防止壓力過(guò)大造成設備損壞； 2.真空下使用時(shí)，設備使用溫度不得超過(guò)800℃。 | |||||||
服務(wù)支持 | 一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件）。 | |||||||
應用領(lǐng)域
1. 冶金：用于金屬粉末燒結、合金化處理等。
2. 半導體制造：用于電子元件的制造和測試，如硅片退火、擴散等。
3. 新材料研發(fā)：用于新型材料的合成和處理，如納米材料、功能陶瓷等。
4. 化工：用于催化劑制備、化學(xué)反應等。
5. 科研與教育：適用于高校、研究所等科研單位進(jìn)行材料科學(xué)、化學(xué)工程等領(lǐng)域的研究和教學(xué)實(shí)驗。
