快速退火爐的簡(jiǎn)介
    RTP快速退火爐一般都是以碘鎢燈管為發(fā)熱元件，升溫速度極快，采用S型熱電偶測溫并采用國際ling先的模糊PID控制，具有很高的控溫精度〈±5℃〉?？焖偻嘶馉t具有真空裝置，可在多種氣氛下工作，大大提高了其使用范圍。標準配件：S型熱電偶1根，石英內外管1套，真空法蘭1套等。
1. 爐子第一次或長(cháng)時(shí)間（三個(gè)月）停用后再次使用時(shí)，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內的清潔。
2. 采用石英管，當溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì )出現不透明現象，這叫失透（又叫析晶性）是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正?，F象。
3. 冷爐使用時(shí)，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過(guò)快，各溫度段的升
溫速率差別不易太大，設置升溫速率時(shí)應充分考慮所燒結材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現噴料現象，污染爐管。
4. 定期檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是否良好，應特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
5. 爐子使用過(guò)一段時(shí)間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤(pán)之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pán)或更換修理真空系統，以提高系統的整體真空度。
6. 爐子在工作過(guò)程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過(guò)大，檢查參數“M5、P、t”設置是否準確。
7. 此爐適用于下列工作條件：
（1）環(huán)境溫度在-10～75℃之間。
（2）周?chē)h(huán)境的相對濕度不超過(guò)85%。
（3）爐子周?chē)鷽](méi)有導電塵埃，危險性氣體及嚴重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。